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光谱共焦传感器·白光共焦技术用在精密测量和3D测量领域

发布时间:2021-06-11
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针对光学镜片表面轮廓的测量,常见的测量方式包含探针法和白光干涉法。彩色激光位移同轴计,采用白光作为测量介质,白光在特殊透镜组下会形成色散效应。被测物体不同深度会反射不同颜色的光,从而能测量探头到被测物体表面距离和位移的目的。


其特别适合测量诸如镜面等全反射面,原因是其与激光三角反射传感器不同,光源是垂直照射被测物体,反光也是垂直返回探头,镜面可以最大限度的反射光斑。而三角反射式传感器就更适合测漫反射面。




使用光谱共焦传感器测量,可以得到超高分辨率。纳米级分辨率源于上述经过特殊处理得到的加长光谱范围。由于采用检测焦点的颜色,得到距离信息,光谱共焦传感器可以采用非常小的测量光斑,从而允许测量非常小的被测物体。这也意味着,即使被测表面有非常轻微的划痕,也逃不过光谱共焦传感器的眼睛。


白光干涉法为非接触式光学测量方法,规避了接触式测量方法存在的问题,同时拥有超高的测量精度。但白光共焦法需采用图像拼合获得完整轮廓,而拼合图像将产生误差,因此不适合较大体积或阵列分布的镜片轮廓测量。


光谱共焦传感器具上述两种测量方法的优势,还拥有超高的角度特性,高达2000Hz的测量频率配合高精度测量平台,保证了轮廓数据的水平方向分辨率,实现精密测量和3D测量的需求。


曲率半径




镜片阵列




划痕检测




海伯森技术光谱共焦传感器


传感头HPS-CF系列





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