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光谱共焦传感器应用于哪些领域?

发布时间:2022-07-14
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光谱共焦传感器都有些有什么应用呢?要怎么选型?海伯森技术(深圳)有限公司小编这边跟大家分享一下。

1、表面粗糙度、平整度测量

表面粗糙度测量通常采用接触式测量和非接触式测量。但是接触式测量成本高、精度不足,且容易造成表面损耗,现在逐渐被机器视觉检测(非接触式检测)替代,常用的非接触法主要有干涉法、散斑法、散射法、聚焦法等。而其中聚焦法较为简单实用。

运用光谱共焦位移传感器HPS-CF系列可检测零件表面的磨损、密封、润滑、疲劳、研和等机械性能。

2、轮廓、几何尺寸测量

选用高精度光谱共焦传感器测头,可实现对超精密零件的二维尺寸、表面轮廓弧度的测量。不同的场景对传感头的选型不一样,例如要测量零件通孔的孔径可选择HPS-CFL007,需要测量高反光球面,可以选择角度兼容性更高的HPS-CFL094,要测量表面微小划痕、缝隙可以选用HPS-CFL036。

3、材料厚度测量

由于光谱共焦传感器对于不同的反射面反射回来的单色光的波长不同,因此对于材料的厚度精密测量有着独特的优势。就像光学玻璃、晶圆表面、生物薄膜等,通过安装双头测厚支架,两个反射面都反射不同波长的单色光,这样只需一个控制器就能够推算出它的厚度,并且测量精度能够达微米量级,线性误差能到0.22μm。

以上就是海伯森技术(深圳)有限公司小编跟大家的分享,感谢大家的关注与支持,获取更多资料可前往www.hypersen.com。如有精密检测需求或需要其他产品方案,欢迎来电咨询。


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