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光谱共焦位移传感器应用方案(二)——多层玻璃厚度检测

发布时间:2021-03-19
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随着大量自动化智能化技术应用遍地开花,自动化设备朝着更高品质、更高效节能、更环保低成本的方向发展。

在3C消费品、半导体的制造过程中,产品通常会包含多层复合材料,需要分别检测其厚度或有无。海伯森HPS-CF系列光谱共焦位移传感器采用同轴测量结构的传感头,仅一次测量即可获得透明物体(玻璃、薄膜、UV胶等)的表面高度及厚度,获得微米级别的测量精度,解决了普通激光位移传感器在测量透明材质时,容易因上下高度不同而导致位置偏移

光谱共焦位移检测技术是利用光的波长信息测量距离的,由光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色),通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长,换算获得距离值。

海伯森HPS-CF系列光谱共焦位移传感器,是一款精度可达100纳米级的非接触式位移传感器,可稳定测量金属/陶瓷/镜面/玻璃/薄膜等各种材料,精度高,而且对被测物体表面的颜色和光洁度也没有任何特殊要求,无论是什么颜色,无论是哪一种工作形貌(深孔/斜面/弧面等),HPS-CF4000光谱共焦位移传感器都可以轻松测量。同时,一个控制器最多支持四个传感头同步测量,检测速度快,适应于高温高压等严苛的操作环境。


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光谱共焦位移传感器搭载的传感头有良好的角度特性,可实现镜面表面±62°的测量角度,漫反射表面最大测量角度可达±88°,且在量程范围内可以测得多层玻璃的多个峰值,从而得到第一片玻璃的厚度、第二片玻璃的厚度、以及两片玻璃之间的空隙。HPS-CF4000光谱共焦位移传感器测量速度可达6.3k/s,为了满足超高速测量场合的要求,海伯森还推出了业界最快速度的控制器HPS-CF1000,可实现每秒72000次的超高速测量

想要了解更多应用场景,欢迎莅临深圳工业展(SIMM展)海伯森展位前来咨询。


展会预告

时间:3月30日~4月2日

地点:深圳(宝安)国际会展中心

广东省深圳市宝安区福海街道展城路1号

海伯森展位:9号馆-S33


3月30日的深圳工业展(SIMM展),海伯森将携全系列光学产品(光谱共焦位移传感器,超高速工业相机,激光对针传感器,面阵固态激光雷达,单点ToF测距传感器,激光三角位移传感器)、力控及视觉系统方案(3D视觉自由抓取方案,六维力传感器)、年度重磅新品(HPS-LCF线光谱共焦传感器)等十余款产品出展。

欢迎莅临海伯森展位,我们的工程师将在现场为您答疑解惑。

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