光谱共焦位移传感器
小尺寸、大量程
超大角度、高重复精度
0.09um线性误差
几乎不受材质、形状和反光的影响
±62°的超大镜面测量角度
仅一个控制器即可支持4通道同步测量
产品概述
Product Description
- 系统包含控制器、光纤、传感头
- 控制器具有出色的信噪比,适合高动态测量任务。优异的表面补光技术可以快速调节曝光时间,适应快速变化表面的反光特性确保高精度测量。
- 光纤采用不锈钢套管及特殊硅胶材质包裹,轻松应对拉伸负载、弯曲、侧压等复杂环境传感头内不含有电子元件,杜绝发热导致夹具变形,影响测量精度。
传感头
控制器
原理简介
Principle Introduction
一束白光(或多波长混合光)经过一个小孔,经过镜头将不同的波长聚焦到光轴上，色散的形成一条彩虹状分布带,照射到样品上,表面部分反射光反射回去。
没有照射在光轴与物体表面交点的光经过分光部件，照射在另一个小孔周围被阻挡，无法照射到光谱分析仪，不会被干扰测量
产品优势
Product Advantages
几乎不受任何材质、形状和反光影响多种材质亦可完成高精度测量
对各种材质及光照条件适应性强
超大测量角度
- 良好的角度特性和极限分辨率
- 可实现镜面表面士62°,漫反射表面士88°超大角度测量
- 可精确测量带有角度或弧度目标物的3D轮廓
支持四通道同步测量
- 一个控制器可支持四个传感头
- 可实现低成本的高精度测量
- 提高精度,降低成本
极小的测量光点纳米级分辨率
- 测量光束在整个测量范围内具有超高的分辨率和精度光点最小可至2.48um,超强收光能力
- 持续超小尺寸测量光点,测量出清晰的外形轮廓
- 横向分辨率是测量光点的一半,无需刻意放大光点尺寸,特别适合测量微小几何结构和轮廓变化
每秒72000次超高速测量
- 多功能光谱共焦控制器,实现出色的信噪比,确保高精度高稳定性测量
- 特别适合超高速、高动态检测任务,实现72k/s业界最高测量频率
- 快速表面补光技术可实时动态调整照明亮度和补光时间,实现了对反光特性快速变化表面的稳定测量
不受空间和测量区域限制
重复最小误差仅士0.04um
- HPS-CF系列光谱共焦位移传感器为共焦光路,相较于普通激光位移传感器,不容易受到空间中各个表面的反射干扰,因此无测量方向的限制,尤其在测量一些盲孔、窄缝等狭小的区域,具备独特的优势
- 几乎适用于各种材质的精确测量
完备的SDK及一站式软件支持服务
- 安装简单，不受使用场所和用途限制
- 程序设定智能,页面菜单简介明了，操作简单易上手
- 量身定制,售后无忧
| 型号 | 工作距离（mm） | 测量范围（mm） | 非线性误差(μm) | 角度特性 | 光点大小(μm) |
|---|---|---|---|---|---|
| HPS-CFL005 | 4.06 | ±2.395 | 2.7 | ±8.2° | 25 |
| HPS-CFL007 | 6.5 | ±0.8 | 3.2 | ±10° | 50 |
| HPS-CFL008A | 9.2 | ±0.67 | 0.57 | ±15.5° | 16 |
| HPS-CFL008B | 4.1 | ±0.544 | 0.28 | ±28.2° | 13 |
| HPS-CFL010 | 7.5 | ±1.25 | 6 | ±12.5° | 60 |
| HPS-CFL010B | 4.2 | ±0.34 | 0.4 | ±30° | 13 |
| HPS-CFL015 | 14.6 | ±0.41 | 0.4 | ±20.7° | 13 |
| HPS-CFL020 | 23.435 | ±1.5 | 2 | ±18° | 13 |
| HPS-CFL025 | 43.9 | ±6 | 4 | ±8.9° | 70 |
| HPS-CFL029 | 4.238 | ±0.2 | 0.09 | ±33° | 7 |
| HPS-CFL030 | 32.5 | ±3.2 | 2 | ±13° | 52 |
| HPS-CFL033 | 16.13 | ±1.25 | 0.15 | ±30.4° | 10 |
| HPS-CFL036 | 11.3 | ±1.2 | 0.3 | ±35.23° | 12.4 |
| HPS-CFL037 | 35.9 | ±1.6 | 0.9 | ±19.2° | 37 |
| HPS-CFL040 | 24.45 | ±1.2 | 0.5 | ±23° | 28 |
| HPS-CFL041 | 48.5 | ±6 | 0.63 | ±16° | 32 |
| HPS-CFL042 | 68.45 | ±8 | 2.5 | ±11° | 65 |
| HPS-CFL043 | 7 | ±0.23 | 0.2 | ±44° | 7 |
| HPS-CFL047 | 171 | ±40 | 4.5 | ±7.7° | 30 |
| HPS-CFL052 | 51.24 | ±8.29 | 2.2 | ±15.4° | 38 |
| HPS-CFL053 | 19.98 | ±0.39 | 0.15 | ±33.4° | 3.1 |
| HPS-CFL054 | 9.83 | ±1.06 | 0.35 | ±46° | 15 |
| HPS-CFL055 | 18 | ±2 | 0.8 | ±45° | 10 |
| HPS-CFL060 | 46 | ±14 | 2.8 | ±14° | 44 |
| HPS-CFL094 | 9.09 | ±1.2 | 0.4 | ±62° | 12.8 |