激光位移传感器HPS-LC010
激光位移传感器HPS-LC010
是一款基于三角测距原理的高精度位移传感器,具有直射/斜射式兼容结构,可同时检测漫反射表面和镜面反射表面。
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HPS-LC010

- 基于激光三角测距原理进行测量

- 高精度非接触式传感器

- 由控制器+传感头组成

- ±0.1μm(RMS)超高重复精度

- 高线性度

- IP67防尘防水

- 内置算法,适用多种反射率物体

- 丰富的通讯接口,便于用户后期集成开发

技术参数
控制器
人机界面 触摸屏
通讯接口 IO
运算单元 ARM+DSP
外形尺寸 138*1025*33.8mm
重量 275克
传感头
型号 HPS-LC010
工作参考距离 55mm
测量范围 ±10mm
激光光源 655nm半导体
出光功率 0.3mW
采样频率 8.7kHz
参考距离处光点直径 30um
非线性度 0.02%F.S.
重复精度 0.1um(RMS)
防护等级 IP67
环境光 1000Lux
工作温度 0~+50℃
外形尺寸 82*74.5*32mm
重量 270克
应用领域
  • 段差检测
  • 厚度检测
  • 晶圆检测
  • 平整度检测
  • 中心定位
产品尺寸

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