HPS-CFL052

精度可达纳米级的非接触式位移传感器

可稳定测量金属/陶瓷/镜面/玻璃等各种材料

测量角度大,适用于各种工作形貌(深孔/斜面/弧面等)

检测速度快

适应于高温高压等严苛的操作环境

技术参数
型号 HPS-CFL052 工作参考距离 51.24mm
测量范围 ±10.36mm 测头外径 52mm
静态重复精度 ±0.05μm 线性误差 3μm
发光光源 LED白光 光点直径(大光点型) 40μm
最大安装倾角 ±15.4° 防护等级 标配IP52(可定制IP67)
工作温度 -40~+85℃ 传感头到控制器光纤长度 标配3m(可选购5m、10m光纤)
应用领域
  • 段差检测
  • 厚度检测
  • 晶圆检测
  • 平整度检测
  • 中心定位
  • 曲面轮廓扫描
产品尺寸

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