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薄膜厚度测量方法

通常情况下,薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距离,而实际上,薄膜的表面是不平整,不连续的,且薄膜内部存在着针孔、微裂纹、纤维丝、杂质、晶格缺陷和表面吸附分子等。因此薄膜的厚度大至可以分成三类:形状厚度,质量厚度,物性厚度。




工业生产的薄膜,其厚度是一个重要的参数。随着科技的进步和精密仪器的应用,薄膜厚度的测量方法有很多,按照测量的方式分可以分为两类:直接测量和间接测量。


使用光谱共焦传感器,利用光学的方法,非接触式地测量薄膜的厚度。在检测过程中,白光可以直接穿透,取两个波峰顶点的中间段的值,即为薄膜的厚度。


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