X方向分辨率2.9μm，Z方向可重复性0.1μm；镜面角度兼容性±20.5°
X方向分辨率2.9μm，Z方向可重复性0.25μm；镜面角度兼容性±15°
X方向分辨率6.3μm，Z方向可重复性0.15μm；镜面角度兼容性±13.5°
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